Общероссийский классификатор стандартов → МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → Линейные и угловые измерения *Включая геометрические характеристики (GPS) → Линейные и угловые измерения в целом
ГОСТ 8.594-2009. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592
Название на англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Method for verification |
Тип документа: | стандарт |
Статус документа: | действующий |
Число страниц: | 12 |
Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
Дата издания: | 31.05.2010 |
Дата введения в действие: | 01.11.2010 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |